射频电源作为半导体制程的核心必备设备，技术壁垒高，市场准入难，国际上高端射频电源市场几乎被国外垄断。现阶段我国高端射频电源与国外同类电源相比还存在一定技术差距，该研究成果旨在赶上国际先进水平，打破技术垄断。JHL-RF5000-400kHz大功率低频电源适用于远程等离子源等半导体设备，主要用于腔室清洗，薄膜刻蚀以及等离子体辅助沉积等工艺。其系统原理主要拆分为六个电路模组：逆变电路、辅源电路、滤波电路、测量电路以及控制电路和显示电路，实现全数字化测量和控制系统及高精度输出功率。