仪器所在单位内部编码：

0200803

规格型号：

ZZ500-2/D

主要技术指标：

1、 真空室尺寸：φ500mm×390mm。
2、 真空系统：JTFB-250/1600分子泵(北京)＋BSV-90型直联泵（浙江）。
3、 真空测量 数显双路双显真空计。(成都正华)
4、 极限真空：3.0×10 -4 pa。
5、 恢复真空：大气到 3.0×10 -3 pa≤15min(空载、常温)。

主要功能：

能在金属、半导体、绝缘体甚至塑料、纸张、织物表面上沉积金属、半导体、绝缘体、不同成分比的合金、化合物及部分有机聚合物等的薄膜，其适用范围之广是其它方法无法与之比拟的。可以不同的沉积速率、不同的基板温度和不同的蒸气分子入射角蒸镀成膜，因而可得到不同显微结构。薄膜的纯度很高。易于在线检测和控制薄膜的厚度与成分。厚度控制精度最高可达单分子层量级。