发明人：姚龙; 李晓峰; 马聪伟; 郭徽

本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种阻抗检测电路、方法、阻抗匹配器及匹配调节方法，其中，阻抗检测电路用于检测阻抗匹配器中负载端的相位信息和幅值信息，阻抗检测电路包括二极管相位检测电路和二极管幅值检测电路，二极管相位检测电路用于获取相位信息，二极管幅值检测电路用于获取幅值信息，在阻抗匹配过程中，实时测量相位信息输出电阻的电压以及幅值信息输出电阻的电压，当测得的相位信息和幅值信息均为0时，则表示匹配完成，该检测方式无需对阻抗进行实时测量，仅需测量相位信息输出电阻的电压以及幅值信息输出电阻的电压即可，从而降低检测难度，提高检测效率。