发明人:杨晓峰; 郝凌凌; 陈庆生; 康华洲; 王振华
本实用新型公开了一种基于光谱共焦的压电陶瓷d15参数测量装置,包括光源、分光镜、色散透镜组、横向位移台、纵向位移台以及光谱信号处理模块。待测试的压电陶瓷叠堆设置于横向位移台和纵向位移台之间,从光源发出的光经过分光镜后到达色散透镜组,经色散透镜组入射到横向位移台,经过横向位移台反射回色散透镜组,经过分光镜透射返回光谱信号处理模块。本实用新型技术方案采用光学测试可以直接测量其逆压电效应,同时可以达到纳米级的测量精度,同时不需要对被测件进行任何处理。
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