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多通道涂布膜厚测量系统
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科技产品-先进制造与自动化
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聚酰亚胺是OLED柔性基板材料的最佳选择,涂布成膜过程的在线膜厚监测可反馈改进涂布工艺。现有膜厚测量手段难以同时满足多通道、百微米测量范围、纳米级检测精度的测量需求。本团队深入探讨多点膜厚测量机理,研究基于光谱干涉的多通道膜厚测量方法和基于波数周期拟合的膜厚解析算法,并制造出多通道膜厚在线监测设备。

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