发明人:胡琅; 徐平; 侯立涛; 冯杰; 胡强; 吴猛
本发明公开一种类金刚石薄膜及制备方法,其中,类金刚石薄膜包括基材层、过渡层和类金刚石层,过渡层贴设于基材层的一侧,类金刚石层贴设于过渡层远离基材层的一侧,类金刚石层内掺杂有氮原子,以调节类金刚石薄膜内sp2碳键和sp3碳键的相对含量。本发明技术方案改变了类金刚石薄膜的表面电阻,使其满足抗静电的应用需求。
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