规格型号： 岛津 Axis supra+     
主要技术参数：
（1）样品分析室真空度优于7×10^(-7) Pa；
（2）Al/Ag双阳极靶单色化X射线光源，最大功率600 W；
（3）能量扫描范围：0 eV~1500 eV；
通过能范围：5、10、20、40、80、160、320 eV；
（4）束斑范围：小束斑：15 27 55 110 μm，大束斑：300 μm ×700 μm；
（5）最佳能量分辨率：0.44 eV；灵敏度：2.5 Mcps@0.6 eV（300 μm ×700 μm束斑）；
（6）成像空间分辨率：1 μm；
（7）氩离子刻蚀模式：单离子束模式，500 eV~4 keV连续可调；
（8）紫外光电子能谱（UPS）：He紫外光源；能量分辨与灵敏度：Ag费米边20%-80%≤120 meV@1 Mcps；
（9）准原位高温气体反应室能够实现加热温度达到1000 K，同时可通入氮气、氧气、氢气及混合气体等反应气氛。

主要功能：
分析固体样品表面元素（H、He除外），包括元素种类及价态。能够实现XPS采谱、刻蚀及深度剖析、紫外光电子能谱（UPS）、角分辨XPS、扫描/平行成像、离子散射谱（ISS）、准原位高温气体反应处理等功能，荷电中和系统能实现对大部分半导体、绝缘体样品的分析；此外，具有实现原位/准原位分析功能，从而获取材料表面的实时/准实时信息。

送样要求：
XPS常规测试要求非挥发性样品；测试价带谱或功函数，要求样品具有良好导电性。

收费标准：

XPS常规测试400元/样（四个元素，含碳，每增加一个元素加50元）；氩离子表面清洁100元/样；价带谱400元/样；功函数500元/样。

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