发明人：杨万里; 毕海; 段江伟; 汪伟; 柯链宝

本发明属于晶圆检测技术领域，公开了一种无监督的晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质。该方法包括：获取初始晶圆检测数据集；利用预设无监督自编码器为初始晶圆检测数据集中的无标签晶圆检测数据制作伪标签，生成目标晶圆检测数据集；根据目标晶圆检测数据集对预设分类器进行训练，得到训练好的目标分类器；在接收到待检测晶圆数据时，利用目标分类器对待检测晶圆数据进行检测，得到晶圆缺陷检测结果。通过上述方式，为无标签晶圆检测数据制作伪标签，利用有标签数据和伪标签数据对目标分类器进行训练，使得目标分类器学习到不同的缺陷特征，能够识别到未知的缺陷种类，提高了晶圆缺陷的检测精度。