发明人：赵迎宾; 宾剑雄; 牛兰; 刘振; 杨鹏; 王济宇

本申请属于光电集成芯片制备技术领域，公开了一种双板平行度光学无损检测方法、系统及电子设备，在掩膜板的侧边沿面上设置第一通道件，并在基板对应的侧边沿面上设置第二通道件，第一通道件的两端分别设置第一反射件和照射光源，第一反射件的正下方设置出光口，第二通道件的两端分别设置第二反射件和光接收装置，第二反射件的正上方设置进光口，上位机根据光接收装置处的光斑的位置判断掩膜板与基板是否平行对准；从而不会影响基板表面温度且能够提高检测准确率，并降低对检测人员经验的依赖性。