发明人:徐秀兰; 刘锦涛; 于广华; 黄意雅
本发明提供了一种FeCoCr磁码盘薄膜材料,属于磁性材料技术领域,为多层膜结构,包括基底,以及在基底上依次制备的Bi掺杂的FeCoCr薄膜和保护层;其中,所述保护层用于防止Bi掺杂的FeCoCr薄膜被氧化。本发明还提供了一种FeCoCr磁码盘薄膜材料的制备方法和应用。本发明的FeCoCr磁码盘薄膜材料,通过控制Bi元素在FeCoCr薄膜中的掺杂量,可以对FeCrCo薄膜的矫顽力进行有效地调控,使得薄膜的矫顽力由不掺杂Bi时的457Oe,提升为掺Bi之后的930Oe,矫顽力增幅达100%以上,满足磁编码器码盘材料对矫顽力的实际应用需求。并且,本发明的FeCoCr磁码盘薄膜材料的制备方法,简单、控制方便、效率高且成本低。
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