发明人：马聪伟; 姚龙; 侯丽丽; 李晓峰

本公开涉及一种射频电源自动阻抗匹配装置、系统以及方法，射频电源自动阻抗匹配装置包括：控制模块、至少一个检测模块和至少一个阻抗匹配模块；阻抗匹配模块用于与射频电源电连接；检测模块与阻抗匹配模块的输入端一一对应电连接；阻抗匹配模块的输出端用于与负载一一对应电连接；检测模块用于获取传输至阻抗匹配模块的电压信号和电流信号；控制模块用于根据电压信号和电流信号确定阻抗匹配模块所在支路的信号传输的反射系数，根据反射系数调节阻抗匹配模块的电容值。本公开实现了射频电源和负载之间的实时阻抗匹配，减少射频电源所发送的信号的损耗，从而实现高效的能量传输。