性能指标：①真空室尺寸：直径1300mm、高1700mm； ②极限真空：7.0E-5Pa； ③基板最高温度：350℃； ④光学膜厚控制：HOM4-R反射式膜厚检测、波长范围350nm-2400nm、波长精度<±1nm。

主要应用：适用于各种光学玻璃和晶体上镀制减反射膜,高反射膜,分光膜和滤光膜及其它多层光学薄膜。

共享要求：（1）工件直径≤1300mm； （2）工件高度≤500mm； （3）工件重量≤100kg； （4）可加工工件形状：平面,球体,非球面，自由曲面。

仪器说明：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。

收费标准

亲自上机测试费用标准：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。

委托测试费用标准：（1）委托加工：1200元/小时； （2）耗材除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。

送样测试费用标准：/