发明人：徐成; 毕海; 梁振廷; 李义

本申请公开一种二维弧形阵列六自由度磁浮微动台及器件转移装置，涉及磁悬浮技术领域，其中，二维弧形阵列六自由度磁浮微动台包括：定子，定子为平面结构；动子，动子为平面结构，且动子与定子平行设置；磁铁阵列，磁铁阵列包括若干辐射状环形布置的扇形磁体，扇形磁体设置在动子上；至少三个第一绕组，三个第一绕组设置在定子上；至少三个第二绕组，三个第二绕组设置在定子上。本申请提供的上述方案，由于动子和定子均为平面结构，且动子和定子平行设置，磁铁阵列设置在动子上，第一绕组和第二绕组均设置在定子上，这样可以使得整体微动台重心更低，适合高速运动，而且整体微动台空间利用率高，有效保证了推力密度。