发明人：吴应东; 卢静; 伍嘉乐; 路腾; 陈柱坚

本实用新型提供一种模块化气体控制系统，其包括安装在外界柜体上的底层结构板，设置在底层结构板上的气体控制机构和上层结构板，上层结构板具有从底层结构板顶面向上延伸的竖板和设置在竖板上的安装板，安装板位于竖板远离底层结构板的一侧，气体控制机构包括具有气体输入接口的第一部分和具有气体输出接口的第二部分，其中第二部分设置在安装板上；底层结构板和上层结构板的设置，使气体控制系统分为两层布置，降低了柜体安装气控系统的单面面积，从而提高柜体的空间利用率和柜体的集成度，实现气体控制系统的模块化，方便气体控制系统的安装和拆卸，使得安装灵活度加强。