发明人:郭远军; 何斌; 侯少毅; 黎天韵; 方威; 卫红
本发明公开了一种基于真空环境下回收粉末装置,包括可通过气体但粉末不能通过的粉末收集罐,所述粉末收集罐的气体入口与真空腔体连通,粉末收集罐的气体出口与抽真空装置连通:抽真空装置启动,使真空腔体内形成真空环境,对真空腔体内的芯片进行粉末喷涂,真空腔体内多余的粉末由于压力差被吸入到粉末收集罐内实现收集;本基于真空环境下回收粉末装置的结构简易,能在保持真空环境的同时对粉末尤其是荧光粉等纳米级粉末实现过滤回收;粉末收集罐内设置硫化过滤板,可以实现对纳米级粉末的有效过滤回收;本回收粉末装置无需其他外力,只需要真空泵抽真空时形成的压力差就可以把粉末带到粉末收集罐内,提高工作效率,节省能源。
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