性能指标：①光学变倍:1×～8×;总放大倍率:108×～17280× ②X,Y平面分辨率：0.12um；高度观察分辨率：6nm ③Z轴显示分辨率≤0.5nm；重复性精度（σn-1）：10×物镜≤0.1μm、20×≤0.03μm、50×≤0.012μm、100×≤0.012μm； 准确度：0.15+L/100 um(L:测量长度μm) ④XY平面测量精度：显示分辨率≤1nm； 重复性精度（3σn-1）：20×≤0.05μm、50×≤0.04μm、100×≤0.02μm

主要应用：在微米和亚微米级别，用于材料加工表面轮廓与形状的全面三维表征测试与分析。

共享要求：（1）样品重量≤3kg; （2）最大样品尺寸：190mm×160mm×100mm（长×宽×高）； （3）样品彻底干燥，不含任何溶剂，无磁性，无放射性；

仪器说明：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。

收费标准

亲自上机测试费用标准：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。

委托测试费用标准：300 元/小时

送样测试费用标准：300 元/小时