发明人：范燕; 谭军

本发明涉及材料检测及分析技术领域，特别涉及一种样品结构界面点的测定方法，通过结合起始刻蚀时刻和截止刻蚀时刻，将当前数据中的两个第二高分辨窄扫谱图进行整合、分析并得到界面点的方式进行界面点的测定实现了对样品结构的界面点进行测定的目的，并不需要一味的提高采集数据的精确度，也不需要增加数据采集的频率，进而也就解决了相关技术中存在的影响结果差异的主要原因在于界面临界点附近区域采集的数据过于粗糙，数据精确度差；但一味的为提高精确度而增加数据采集频率又会导致XPS仪器机时和测试费用的浪费的技术问题。