发明人:陈良键; 籍亚男; 岳大川; 蔡世星; 林立; 李小磊; 伍德民
本公开涉及Micro LED显示技术领域,公开了一种全彩Micro LED显示芯片及其制备方法,该方法包括:制备衬底外延层;衬底外延层的一侧形成有第一类型发光层;在第一类型发光层的第一预设区域内注入N型离子;在第一类型发光层背离衬底外延层的一侧,形成第二类型发光层;在第一类型发光层的第二预设区域和第二类型发光层的第三预设区域内注入N型离子;在第二类型发光层背离第一类型发光层的一侧形成第三类型发光层;在第二类型发光层的第四预设区域和第三类型发光层的第五预设区域内注入P型离子;在第三类型发光层背离第二类型发光层的一侧,形成P型外延层。由此,降低了工艺制备难度并提高了制备速度。
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