主要技术指标:
1、分辨率:二次电子(SE)像: 0.6 nm @ 15kV–2kV范围内; 0.7 nm @1 kV; 1.0nm @0.5KV。 2、放大倍率:范围20~1,000,000倍(根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准)。 3、加速电压:50V~30kV;着陆电压最低达20V。 4、电子枪:带电子束单色器技术的肖特基场发射电子枪。 5、电子束流:0.8pA~100 nA,连续可调。 6、具备自动双光阑系统,可加热式自清洁。 7、提供恒功率物镜系统,保证可靠性。
主要功能:
1、微观形貌 2、EDS 3、EBSD
主要学科领域:
物理学,材料科学
服务内容:
提供测试服务
预约服务网址:
https://gxw.jihualab.com:8125/#/home
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