功能：

用千有机电致发光器件COLED)制备及研发，主要用途包括有机功能层、电极层沉积等目的是评估OLED材料的器件性能；
配4台TDK蒸发电源，可切换到12组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制。此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID，自动调节蒸发速率。

主要技术指标：

极限真空度：系统洁净、空置时低于3.5×10-5Pa；从常压到5×10-4Pa不超过15min（充氮气保护，从手套箱内操作）。