发明人：邓国君; 刘卉; 李晓峰; 周天林; 郭嘉梁

本发明公开了一种掩膜版变形控制装置，包括掩膜台、调节组件、变形检测组件和运输组件，调节组件设于掩膜台上，调节组件包括可滑动地设于掩膜台上的滑台、安装在掩膜台上的第一平移机构、与滑台转动连接的手指基座和安装在手指基座上的压力传感器，第一平移机构与滑台连接，手指基座滑动连接有吸附滑块，吸附滑块内设有电容传感器，手指基座与滑台之间设有弹片，变形检测组件和运输组件设于掩膜台上方，运输组件设有吸附手指。本发明提供的膜版变形控制装置，实现对掩膜版的变形进行控制的功能，使掩膜版调整至相对平整的状态。另外本发明还公开了一种采用掩膜版变形控制装置的控制方法。