发明人:孙嘉清; 毕海; 杨万里; 张赫铭
本申请公开了一种制冷控制方法、装置、设备及可读存储介质,该方法包括步骤:获取基板上的目标区域的第一温度值;若第一温度值大于第一预设阈值,则输出制冷指令至半导体制冷装置;制冷指令用于控制半导体制冷片启用制冷功能,并控制制冷压缩机启用液冷功能,制冷功能用于降低目标区域的温度,液冷功能用于半导体制冷片热端散热,以保证半导体制冷片的制冷效果;在半导体制冷装置启动后,获取目标区域的第二温度值;基于第二温度值的大小,输出调整指令至半导体制冷装置;调整指令用于调整半导体制冷片的制冷功率,并维持制冷压缩机功率不变,以控制半导体制冷装置的制冷效果。
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