功能：微纳米压痕仪，可支持微纳米尺度的压痕测试，可以计量并测定精确的力-位移曲线，获得材料的纳米压痕硬度、弹性模量、断裂韧性、应力应变、蠕变、疲劳等力学性质。

主要技术指标：

最大压痕载荷：500mN；
载荷分辨率：0.02uN；
载荷背底噪声：rms＜0.5uN；
最大纳米压痕深度：200um；
深度分辨率：0.01nm；
深度背底噪声：＜0.15nm；
纳米压痕测试范围 0.1 mN to 500mN；
微米压痕测试范围0.1 mN to 500mN，可扩展至30 N。