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功能：可用于实时观察微米级样品，并能通过pc端实时操控观测画面并记录
技术指标：
1. 可观察的最大样品高度：30 mm2. 专业半导体检查用载物台: 有效移动行程：X=210mm，Y=210mm，Z对焦行程（即允许最大样品高度)=30mm；含快速移动利合器与精密X,Y轴移动装置；3. 物镜:分别ᨀ供5x,10x,20x,50x,100x 五个明/暗视野观察用平场半复消色差物镜，较长的对焦工作距离，可以更方便的进行对焦操作，并便于观察FPD的对焦与成像；
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