性能指标：1.X-Y轴双向移动样品测试台，行程范围150mm×150mm； 2.位移分辨率0.1微米； 3.样品倾斜平台：6°可调； 4.垂直测试范围10 mm； 5.垂直分辨率：优于0.01 nm； 6.RMS重复性：0.01 nm； 7.台阶高度测量精度：≤0.7%； 8.台阶高度测量重复性≤0.1%，1σ； 9.横向分辨率可达0.04 mm； 垂直测量范围：15 mm。

主要应用：采用传感器高精密地测量轮廓，表面粗糙度，平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。

共享要求：无

仪器说明：无

收费标准

亲自上机测试费用标准：400元/小时

委托测试费用标准：400元/小时

送样测试费用标准：400元/小时