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精密二维电动位移台
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科技产品-先进制造与自动化
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作为当今高端制造业的核心产业,半导体产业中各类自动化加工及检测设备均对精密二维平面运动有着迫切的需求。本团队自研开发的精密二维电动位移台采用二维整体式设计,可快速、精确实现空间中XY两轴位置的自动化调整。该位移台以“步进电机 + 滚珠丝杆”为驱动、直线编码器为反馈,结合优异的装配工艺,其各项运动定位指标均达到国际领先水平。

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