将磁控溅射阴极的固定圆环磁体结构改为旋转双螺旋磁体结构,无需其它复杂的电磁控制,就能实现靶材绝大部分区域的均匀消耗,提高靶材的利用率,降低磁控溅射法覆膜的成本。相对于常规的溅射仪,磁控溅射仪具有更高的溅射速率,能够大幅提升覆膜效率。其不足之处在于磁场区域固定,靶材仅在磁约束区域(磁阱)消耗,使得靶材利用率很低,通常不到30%,而靶材又比较昂贵,致使镀膜成本比较高。通过旋转双螺旋磁体结构,使得磁阱能够覆盖靶材的绝大部分区域,将靶材的利用率由不到30%提升到80%以上,极大地提高了靶材利用率,降低覆膜成本。
应用于磁控溅射覆膜领域,改善磁控溅射靶材利用率低的问题。
联系人 邓伟 15901008211
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