性能指标：1.光源 激光光源必须为短波长激光光源，波长≤410 nm，使用寿命不低于10000小时； 白光光源，使用寿命不低于30000小时； 2.物镜： 5倍物镜N.A.≥0.15，10倍物镜N.A.≥0.30，20倍物镜N.A.≥0.60，50倍物镜N.A.≥0.95，100倍物镜N.A.≥0.95； 20倍、50倍、100倍物镜为复消色差（APO）物镜； 3.激光成像系统： 双针孔共焦成像系统，两个不低于16位动态范围的光电倍增管成像； 最高单幅扫描分辨率不低于4000×4000像素； 带有HDR双扫描模式，配合双针孔系统实现超大动态范围，双扫描模式可根据样品表面情况自动开启； 4.分辨率： 水平光学分辨率≤120 nm，水平显示分辨率≤1 nm； 垂直方向光学分辨率≤6 nm，垂直方向显示分辨率≤0.5 nm； 5.观察方式： 明场观察； 偏光观察； 常规白光微分干涉观察，可在实时观察中使用； 激光共聚焦扫描； 激光共聚焦微分干涉扫描，可在实时观察中使用； 激光模式和常规光模式可同时实时显示； 6.Z轴扫描范围不小于10 mm，最大样品高度至少100 mm； 7.载物台 有效行程：载物台行程XY方向不小于100 mm； 必须为电动载物台； 8.视野范围：最低倍数下，单视野范围不得小于2.5 mm。 9.带有自动物镜测试功能，自动测试不同粗糙度的样品适合使用多大倍数的物镜； 10.提供带有国际计量追溯体系的计量证书； 11.控制分析软件语言支持中文、英文语言，可随时切换； 12.拼图：能自由选择拼图区域。 13.分析功能：三维图形处理、几何测量、表面积和体积测量、线和面粗糙度测量、最大最小值自动获取、剖面线数据导出、空间坐标转换，自动识别最高点和最低点； 其他功能：巡回扫描功能、实时全景自动导航功能、测量功能和扫描功能可以同时使用、测量辅助线、自动对焦、自动亮度调节等。

主要应用：可以对样品进行断层扫描和成像，进行无损伤观察和分析微细结构的三维空间结构。

共享要求：无

仪器说明：无

收费标准

亲自上机测试费用标准：/

委托测试费用标准：/

送样测试费用标准：400元/小时