发明人：杨志军; 白有盾; 陈新; 杨海东; 陈超然

本发明了公开了一种振动智能补偿机械臂、机器人及其振动测量方法，属于机械工程领域，该振动智能补偿机械臂包括本体框架、压电陶瓷致动器及应变传感器，所述本体框架为一体式加工的类桁架式结构，所述应变传感器安装于所述本体框架上，用于测量本体框架在运动过程中的变形状况并将测量结果反馈至控制系统，所述压电陶瓷致动器安装于所述本体框架中，在控制系统的作用下用于补偿所述本体框架在运动过程中的变形。本发明的机械臂解决高速高精密轻载机械领域的机械臂振动抑制问题，旨在通过在机械臂中安装振动检测与补偿的智能元件的方式来实现对机械臂的主动振动抑制，并最终提高系统的执行精度。