性能指标：①最大直写基板尺寸200mm*200mm； ②直写基板厚度0~25mm； ③255阶灰度直写； ④最高可写0.3微米尺寸结构； ⑤定位精度优于或等于50nm；

主要应用：该设备主要制作用于自由曲面高精度干涉测测量的计算全息板（CGH），是高精度检具制作过程中需要自主掌握的设备

共享要求：（1）最大直写基板尺寸200mm*200mm； （2）基板厚度≤25mm；

仪器说明：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。

收费标准

亲自上机测试费用标准：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。

委托测试费用标准：（1）委托加工：1200 元/小时 （2）耗材（胶、显影&定影液等）除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。 （3）制版费根据线条尺寸、光刻版大小和材质按数量单独计算并折算机时计收。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。

送样测试费用标准：/