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用于控制探针温度的方法
类型:
知识产权-专利
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专利类型:发明专利
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发明人:杨晓峰; 胡绘钧

本申请公开了一种用于控制探针温度的方法。探针包括悬臂部分、尖端以及控制器。尖端位于悬臂部分末端并从悬臂部分突出。尖端包括底座、针尖部和从底座延伸的多个支撑臂,各支撑臂在远离底座的端部连接至针尖部。底座内设有多个电极,多个电极包括加热电极和感测电极。本发明的方法,通过精确控制探针的温度,能够进行钝化层的无掩模图形化、高效快速、成本低、且工艺简化。

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