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变倍数均匀激光产生装置
类型:
知识产权-专利
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专利类型:发明专利
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发明人:赵帅; 郑昕

本发明公开一种变倍数均匀激光产生装置,包括:安装结构;光源;变焦准直部件,变焦准直部件安装在安装结构上,变焦准直部件包括至少三个同轴设置的透镜阵列;三个透镜阵列之间的距离均可调;光束匀化部件,光束匀化部件安装在安装结构上,光束匀化部件设置在变焦准直部件的光路下游,光束匀化部件包括第一柱面透镜阵列、第二柱面透镜阵列、第三柱面透镜阵列、第四柱面透镜阵列、第五柱面透镜阵列、第六柱面透镜阵列和傅里叶透镜;第一柱面透镜阵列、第二柱面透镜阵列和第三柱面透镜阵列之间的距离均可调;第四柱面透镜阵列、第五柱面透镜阵列和第六柱面透镜阵列之间的距离均可调。本发明技术方案能够输出边缘更稳定的均匀激光。

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