用于在各种基材表面沉积 Parylene 薄膜的设备。Parylene 是一种聚合物材料,具有优异的耐化学性、电气绝缘性、和生物相容性,因此广泛应用于电子元件、生物医学设备和其他领域。Parylene 气相沉积系统通过化学气相沉积(CVD)工艺,将 Parylene 前驱体转化为均匀、致密且无针孔的薄膜,覆盖在复杂的三维结构上。
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