性能指标：主要技术参数： （1）离子束系统：具备4种快速切换的Xe+、O、N、Ar等离子体源，分辨率为20nm@30kV,加速电压：2kV-30kV，束流强度：可达2.5μA，同时具备Pt、W等金属沉积系统； （2）电子束系统：带有单色器的场发射灯丝，具有超高的分辨率 0.6nm @ 2～15kV；0.9nm @ 1kV；1nm @500V；加速电压：200V－30KV；电子束减速模式：-4kV 至 -50V(着落电压：20V–30kV)；束流强度：0.8pA-100nA； （3）样品室：内径约 370 mm，可扩充20个以上探测器/附件 （4）样品台：X、Y方向移动范围不低于110mm，Z方向移动范围不低于65mm，可绕Z轴旋转任意角度 (360度)，倾角范围包含 -15至90度，最大样品高度：到偏心点的间隙为85mm。 X射线能谱仪（EDS）（UltimMax100） （1）探测器：采用全新设计的分析型硅漂移电制冷探测器，探测器有效面积100 mm2 ；高分子超薄窗设计。无需液氮冷却，仅消耗电能； （2）能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV（计数率130,000cps） F Ka保证优于64eV（计数率130,000cps） C Ka保证优于56eV（计数率130,000cps） （3）元素分析范围：Be4～Cf98； （4）能谱仪处理器与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度8192*8192，全谱面分布图清晰度4096*4096。 电子背散射衍射仪（EBSD）（Symmetry） （1）高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024，采用波纹管密封，可以得到清晰的菊池花样，并能够与各主流型号的电镜良好配合； （2）EBSD在线解析标定速度最高3000pps，此时花样分辨率仍能保持为156×128。电子图像分辨率达8192×8192，EBSD面分布图分辨率达4096×4096，取向精度达0.05度。 （3）探测器插入退出，最快速度：15mm/s，精度：<10μm； （4）Twist，极图反极图，面分布图，ODF图，取向分析、物相分析、晶界分析； （5）具有专用的分析透射样品的TKD标定模式。

主要应用：材料纳微米级尺度高精度加工、修改、成型和高分辨成像；元素定性和半定量分析，可以实现点、线和面分析； 电子背散射衍射EBSD分析。

共享要求：磁性样品需备注说明

仪器说明：Helios 5 Hydra CX多气体源双束电镜系统具有多种独特离子源应用，提供四种快速可切换的离子种类：Xe、Ar、O、N；可采用 Xe、O 或 Ar 制备较高质量的无 Ga+ TEM 和 APT 样品， PFIB 镜筒能够实现 500 V 最终抛光，并在所有操作条件下提供优越的性能；使用AutoTEM 5 软件，可进行快速、简单、自动、多位点原位和非原位 TEM 样品制备以及截面切片。使用新一代2.5微安等离子体 FIB 镜筒进行最高通量和质量的统计学相关 3D 表征、截面切片和微加工。

收费标准

亲自上机测试费用标准：工作日：800元/小时 非工作日：1000元/小时

委托测试费用标准：普通制样：2000元/小时 TEM样品制备：常规3000元/小时 平面：8000元/小时 基本费用基础上，加收项目 EBSD:400元/小时 EDS:200元/小时

送样测试费用标准：普通制样：2000元/小时 TEM样品制备：常规3000元/小时 平面：8000元/小时 基本费用基础上，加收项目 EBSD:400元/小时 EDS:200元/小时