发明人：董美秋; 王魁; 李欣怡; 郭扬武; 于紫薇; 张钰; 訾剑臣

本发明公开了一种基于电润湿效应的变焦微透镜阵列及其制作方法，属于液体透镜阵列领域，方法步骤包括，将带有孔阵列的模板孔正对下导电膜地置于下基板之上，使下基板的上表面与模板之间保持预设间距，往下基板的上表面与模板之间注入疏水材料溶液，去除溶剂形成疏水层，在下基板上制备围堰形成盒体，往盒体内先注入非导电液体，再注满与非导电液体不相溶的导电液体，最后用一面涂镀有上导电膜的上基板封盖。该方法制作工艺简单，获得的疏水层精度更高，相邻的非导电液体不易粘连，可以有效稳定透镜光轴，防止图像失真，具有高集成度以及良好的光学性，模板可重复利用，便于大量生成，可广泛应用于光学成像、光通讯等诸多微纳光学领域。