性能指标:1.加速电压范围:50 eV-2 keV连续可调; 2.研磨角度范围: −12° - +30°; 3.束斑直径: 1 µm @2keV; 4.样品台最低温度可达 –170 °C
主要应用:高精度定位修复FIB制备的样品
共享要求:无
仪器说明:Nanomill微束定点离子减薄仪是革命性超低能量离子束制样设备,惰性气体离子源能够有效去除非晶层及离子注入问题且不产生再沉积现象。Nanomill具备离子成像功能,能够高精度定位并对样品进行精细修复,是FIB制备的样品后续精修的制样工具。
收费标准
亲自上机测试费用标准:无
委托测试费用标准:无
送样测试费用标准:无
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