性能指标：分辨率： 高真空模式：30kV时≤3.0 nm；3 kV时≤8.0 nm 低真空模式：30 kV时≤3.0 nm；3 kV时≤10.0 nm 超低真空模式 (ESEM)：30 kV时≤3.0nm 背散射电子（BSE）像：30 kV时≤4.0nm 放大倍率：≤180000倍； 有效倍率：≤30000倍 真空度：低真空模式：10 to 130 Pa； 环扫真空模式：10 to 2700 Pa（H2O）

主要应用：形貌表征；元素分析；微纳米尺度硬度和模量测试

共享要求：不提供样品预处理，如需喷金等，可预约制样组相关设备。

仪器说明：钨灯丝扫描电镜可分别在高、低真空和环境扫描真空模式下使用，具备分析常规测试样品及不导电、含气、含水等非常规测试样品。具有高度灵活性及样品的宽泛适用性，可进行直观的形貌观察，是功能强大且齐全的通用实验仪器之一。同时，这台扫描电镜还配备了牛津能谱仪UltimMax65和布鲁克纳米压痕仪PI89，在实现形貌表征的基础上，增加了元素分析和微纳米尺度材料硬度、模量测试的功能，使仪器应用更为广泛。

收费标准

亲自上机测试费用标准：工作日200元/每小时；非工作日300元/小时

委托测试费用标准：扫描电镜非实验室600元/小时，实验室内部300元/小时； 能谱仪非实验室200元/小时，实验室内部100元/小时

送样测试费用标准：扫描电镜非实验室600元/小时，实验室内部300元/小时； 能谱仪非实验室200元/小时，实验室内部100元/小时