性能指标：1.系统框架刚度：≥108 N/m； 2.原始热漂移噪声：≤0.05 nm/s（非软件修正）； 3.最大纳米压痕载荷≥500 mN； 4.载荷分辨率≤0.02 µN； 5.最大纳米压痕深度≥200 µm； 6.深度分辨率≤0.01 nm； 7.最大微米压入载荷：≥30 N； 8.最大微米压入深度：≥1000 µm； 9.样品夹具下方为全自动XYZ样品台，行程：≥200 mm×75 mm×30 mm； 10.全自动XYZ样品台最小步进：≤0.1 µm； 11.金相光学显微镜配备光学转塔，配有5X，20X，50X，100X倍物镜，可通过转塔切换并自动识别物镜，最大放大倍率：≥4000倍； 12.支持同一个样品，连续的做纳米压痕实验和微米划痕实验，中间过程不更换针尖，获得薄膜/涂层的纳米压痕硬度、模量和划痕结合力情况； 13.支持同一个样品，连续的做纳米压痕实验和微米压痕实验，以不同的力学尺度，测试金属材料上的不同金相压痕性质； 支持同一个样品，连续的做纳米压痕实验和显微维氏硬度实验。

主要应用：主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。

共享要求：无

仪器说明：无

收费标准

亲自上机测试费用标准：600元/小时

委托测试费用标准：600元/小时

送样测试费用标准：600元/小时