发明人：刘宏; 黎天韵; 沈若尧; 胡强; 徐平; 何斌

本发明公开了一种高效制备超净高纯硫酸连续生产装置及生产方法，其中，所述生产装置包括依次连接的固体料投放装置、搅拌罐、结晶釜、阴离子交换柱、阳离子交换柱、过滤器、浓缩器、固体料转移装置、真空干燥器、加热分解器、降膜分离器、除雾器、高纯硫酸吸收塔、超滤装置、真空洁净包装系；通过采用上述生产设备，可以以工业级硫酸氢钠为原料，制备出符合SEMI‑C8或SEMI‑C12标准的硫酸，并且产量高，产品质量稳定，以此来克服发烟硫酸和液体三氧化硫原料在使用时存在安全隐患、不环保、进料数量不能精确控制等问题。