发明人：高健; 陈伟帆; 陈新; 陈云; 贺云波; 杨海东

本实用新型公开了一种阵列孔加工装置，包括沿光路方向依次设置的：用于产生激光并且实现光束扩束和准直的激光产生装置；用于选通光束中心区域、并拦截光束边缘区域的光束选择器；用于将由光束选择器出射的光束调整能量分布均匀的光束整形器；用于将由光束整形器输出的光束分成平行传播的阵列光束的分光元件，分光元件具有阵列排布的多个微光学结构；用于将阵列光束分别汇聚并汇聚到同一平面，形成应用于加工的阵列激光束的聚焦元件。本实用新型阵列孔加工装置，在激光分束前先选通光束中心区域能量高的部分，并对光束整形使光束能量分布均匀，使用于加工的激光束能量分布均匀，在加工时可减少微孔产生锥度，提高微孔加工质量。