性能指标:①有效口径:4英寸 ②干涉测量精度:PV=λ/10、RMS=λ/200(λ=632.8nm); ③QPSI抗震模式下重复测量精度:λ/10000(λ=632.8nm); ④CCD分辨率:1024*1024; ⑤具备Alignment功能。
主要应用:对光学元件在抛光阶段进行干涉测量,从而获得其面形精度。
共享要求:(1)有效口径≤4英寸; (2)可检测样品形状:平面,球体,非球面,自由曲面。
仪器说明:仅可委托相关技术人员操作,不可自行操作。
收费标准
亲自上机测试费用标准:仅可委托相关技术人员操作,不可自行操作。
委托测试费用标准:300 元/小时
送样测试费用标准:300 元/小时
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