本项目从事车用无铅压电MEMS传感器的研究与开发。MEMS汽车传感器是汽车电子控制系统的主要信息源，对温度、压力、位置、转速、加速度和振动等各种信息进行实时、准确的测量和控制，对于保障汽车运行安全发挥着不可替代的作用。我们研究和开发了环境友好型无铅压电MEMS传感器，包括加速度传感器、自供电式汽车胎压传感器等，填补了国内在车用无铅压电MEMS传感器领域的空白，具有重要的现实意义和经济意义。本发明公开了一种无铅压电材料基MEMS传感器的制备方法，其制备方法包括薄膜淀积、光刻、外延、溅射、蒸镀、刻蚀、划片和封装等工艺。无铅压电MEMS传感器相比于传统传感器具有环境友好、体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化等优点，在环境友好型、智能化汽车领域有巨大的发展潜力。