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一种基板传送装置、控制方法及相关设备
类型:
知识产权-专利
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专利类型:发明专利
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发明人:马赐文; 周川堰; 曹东豪; 周志

本申请涉及一种传送装置,具体公开了一种基板传送装置、控制方法及相关设备,装置包括滑轨、滑台、恒温平台和吸附平台,滑台滑动设置在滑轨上,滑台用于承托基板并带动基板移动;恒温平台安装在滑台上方;恒温平台内置有第一腔室,第一腔室与外部的供水机连接以向第一腔室循环注入预设温度的液体;恒温平台能够导热;吸附平台,吸附平台紧贴在恒温平台上方,吸附平台内置有第二腔室且上表面设置有多个与第二腔室连通的通孔;第二腔室与外部的真空发生器连接以使基板吸附在吸附平台的上表面;吸附平台能够导热,本申请的基板传送装置能够在转移基板过程中有效维持基板温度恒定,减少温度变化对墨水的影响,有利于提高成品质量。

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