仪器所在单位内部编码：

0200392

规格型号：

Coxem EM-30N

主要技术指标：

1. 放大倍数：150,000倍
2. 分辨率：背散射：≤10nm，二次电子：≤6nm
3. 加速电压：2KV~15KV，连续可调，束斑直径大小连续可调
4. 单样品平均抽真空时间：15s
5. 附件：能谱分析，分析元素范围：B5~Cf98

主要功能：

电镜能谱一体机不仅能采用二次电子、背散射等成像模式进行不同放大倍数下微观形貌分析（尺寸、形态、分布等），还可对样品表面元素成分进行定性半定量分析。