发明人：郑广平; 杨文韬

本发明属于薄膜材料技术领域，公开了一种无铅高熵铁电薄膜及其制备方法和应用。本发明利用溶胶凝胶法制备厚度可控的无铅高熵铁电薄膜，溶胶凝胶法具有工艺简单，设备要求低，生产成本低，成膜效率和均匀性好的优点，可适用大面积制膜；而且溶胶凝胶法制备的材料对化学组分的比例易控制，可通过分子结构工程对材料进行设计，特别适合制备无铅高熵铁电薄膜多组元材料。本发明制得的无铅高熵铁电薄膜，具有超高击穿场强和良好的温度稳定性，其所能承受的击穿电场强度可大于8MV/cm，储能密度可达5.88J/cm<supgt;3</supgt;，储能效率可达93％，可在‑55‑200℃条件下正常工作，并具有较大介电常数和较小介电损耗。