性能指标：扫描电镜： 二次电子像分辨率： 0.6 nm @ 15kV–2kV范围内； 0.7 nm @1 kV； 1.0nm @0.5KV。 放大倍率：范围20～1,000,000倍（根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准）。 加速电压：50V～30 kV；着陆电压最低达20V; 拥有电子束减速模式，-50V至-4KV。 X射线能谱仪（EDS）（UltimMax100）:（1）探测器：采用全新设计的分析型硅漂移电制冷探测器，探测器有效面积100 mm2 ；高分子超薄窗设计。无需液氮冷却，仅消耗电能； （2）能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV（计数率130,000cps） F Ka保证优于64eV（计数率130,000cps） C Ka保证优于56eV（计数率130,000cps） （3）元素分析范围：Be4～Cf98； （4）能谱仪处理器与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度8192*8192，全谱面分布图清晰度4096*4096。 电子背散射衍射仪（EBSD）:（1）高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024； （2）EBSD在线解析标定速度不低于400pps，此时花样分辨率仍能保持为312*256。全分辨率1244*1024花样采集标定时，速度不低于80pps。电子图像分辨率高达8192*8192，EBSD面分布图分辨率高达4096*4096，取向精度高达0.05度；原始像素情况下，可得到百万像素的菊池花样图像，为后续EBSD分析计算提供了可靠的基础数据； （3）探测器插入退出，最快速度：15mm/s，精度：<10μm （4）配有专业的织构分析软件，可实现Twist，极图反极图，面分布图，ODF图，取向分析、物相分析、晶界分析； （5）具有专用的分析透射样品的TKD标定模式。 原位拉伸台（DDS-4 Kammrath Weiss）:（1）最大载荷：5千牛 （2）力分辨率：1牛 （3）拉伸速度范围：0.1μm/s～20 μm/s （4）拉伸位移量：45 mm （5）位移分辨率：100 nm （6）试样加热：1200℃ （7）加热温度稳定性：1℃ 原位冷冻台:控温范围：+50℃~-190℃。

主要应用：● 表面微观形貌表征 ● 元素定性和半定量分析，可以实现点、线和面分析。 ● 电子背散射衍射EBSD分析

共享要求：磁性样品备注说明

仪器说明：Verios 5 UC原位分析超高分辨率场发射扫描电子显微镜具有 UC+ 单色器可实现超高分辨率成像，在 1-30 kV 范围内实现亚纳米表征。本机在XRH机型基础上，配备原位加热和冷冻样品台各一套，可在扫描电镜下进行原位高低温拉伸、压缩及交变载荷条件下的形貌观察和EBSD测试。测试温度范围-190℃~1200℃，可用于研究材料科学和生物科学样品在不同温度下的结构演变。 目前该设备已在传统材料、先进新材料、半导体材料、纳米科技和催化材料等方面获得广泛的应用，实现磁性材料、低介电系数材料、生物/医用材料、高分子复合材料和陶瓷材料直接精细加工和高分辨表征，并在新材料、环境、能源和化学等领域显现出了极大的潜力。

收费标准

亲自上机测试费用标准：工作日： 300元/小时 非工作日： 400元/小时

委托测试费用标准：形貌分析:800元/小时 基本费用基础上，加收项目 EDS能谱：200元/谱（面扫） EBSD:400元/小时

送样测试费用标准：形貌分析:800元/小时 基本费用基础上，加收项目 EDS能谱：200元/谱（面扫） EBSD:400元/小时