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须颖教授

在职单位：广东工业大学擅长领域：

超精密运动控制新技术和新产品的开发纳米和亚纳米范围的精密测量技术和位移/定位控制技术超精密半导体检测设备和生物医学检测设备的设计和研制现代扫描显微成像技术开发和应用 X射线三维显微检测技术的开发与应用

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教育背景

博士: 纳米技术与精密工程中心 , 工程系, University of Warwick (英国) 硕士: 大连理工大学, 机械工程系学士: 沈阳建筑大学，机械工程系英国注册工程师(CEng), 英国机械工程院会员(MIMechE) 辽宁省”百人计划“特聘专家

工作经历

2016年 – 现在，广东工业大学 “百人计划” 特聘教授 2011-2015，天津大学特聘教授 2013年 – ，天津三英精密仪器股份有限公司，董事长 2015年 – ，三英精控（天津）科技有限公司，董事长 2006年- 2009年，Xradia, Inc (美国), 工程部主任 2001年 – 2006年, nPoint, Inc (www.nPoint.com) (美国) , 技术总监 (CTO) 1999年– 2000年, KLA-Tencor ( www.kla-tencor.com ）（美国），高级工程师 1995年 – 1999年, Queensgate Instruments Ltd (英国) ( www.queensgate.com ) ，高级工程师,

参与项目

（1）美国SBIR资助项目（95万美元）：Subnanometer-Precision Positioning for Imaging, Nanofabrication, and Integration；（2）美国SBIR资助项目（70万美元）：Fast CompaCT Nanopositioner Based on MEMS Flexures and Novel ACTuator Design；（3）美国SBIR资助项目（95万美元）：Linear Nanopositioning Translational Motion Stage Based on Novel Composite Materials to Enhance Speed and Range of Motion；（4）美国SBIR资助项目（174万美元）：High-Speed Multi-Axis Nanopositioning Systems for Next-Generation CD Metrology and Lithography；（5）美国SBIR资助项目（75万美元）：A High-Speed Scanning Nanoprobe Head Using Carbon Nanotubes as Compliant Probes； 1.（科技部）国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项（873万元）：“高精度纳米位移平台开发与应用” （2017YFF0105900），2017年–2019年，项目负责人。 2.（科技部）国家重大科学仪器设备开发专项（6318万元）：“X射线三维显微成像检测系统研制与应用开发” （2011YQ030112），2011年–2014年，项目负责人。 3.（科技部）国家科技支撑计划项目: “微纳技术计量标准和标准物质研究”, 任务九 - 纳米位移定位控制技术和系统的研发(2011BAK15B09)，（327万元），2011年-2014年，任务负责人。 4.（科技部）国家高技术研究发展计划（863计划）：“先进传感器技术与系统”，任务四：工业型扫描探针显微测试系统及关键技术（600万元），2012年-2015年，项目主要策划人和主要参加人。 5.山东省东营市引进人才项目：“X射线三维显微成像数字岩心综合分析系统的研发”（830万元），2010年-2012年，项目负责人。 6.天津市科技支撑计划重点项目：“石油地质专用X光三维显微成像检测技术和设备”（500万元），2015年 – 2017年，项目负责人

主要荣誉

2017年辽宁省科技进步奖二等奖“纳米位移定位控制技术和系统的研发”第一完成人 2016.10 – 现在：北京市射线成像技术与装备工程技术研究中心技术委员会委员 2012.12 – 现在：中国科学院高能物理研究所X射线光学与技术实验室学术委员会委员 2010.2 – 现在：中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员

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