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贺云波
教授
在职单位:广东工业大学机电工程学院
擅长领域:半导体
广东工业大学机电工程学院教授,广东工业大学“百人计划”特聘教授;西安交通大学工学博士、新加坡南洋理工大学博士后、上海交通大学@新加坡南洋理工大学MBA; 曾任职:ASM新加坡研发中心,技术经理、部门经理;深圳市大族光电设备有限公司原总经理/总工程师,兼首席技术专家;获得中国专利和软件著作权30余项。
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4011
教育背景
1995年于西安交通大学机械电子工程专业获学士学位。 ·2000年于西安交通大学机械电子工程专业获博士学位。 ·2010年于上海交通大学@新加坡南洋理工大学获MBA学位。
工作经历
·2000年,深圳市华为技术有限公司,电控工程师。 ·2000 - 2002年,新加坡南洋理工大学博士后。 ·2002–2010年,新加坡ASM Technology Singapore,研发中心,技术经理。 ·2010–2014年,深圳市大族光电设备有限公司,总经理/总工,兼首席技术专家。 ·2015 - now,广东工业大学,“百人计划”特聘教授。
参与项目
1.高端半导体封装装备二自由度控制器点到点运动稳态整定性能多因素耦合机理分析智能细调控制 本项目针对高端半导体封装装备的高加速点到点运动的动态性能和稳态整定性能难两全的技术难点,从时频、机电、热、软硬件等多角度研究动态与整定性能的平衡机理,提出基于动态跟踪误差、超调与欠调融合误差等多目标的智能前馈细调算法新思路,研究在不同动态跟踪误差目标下的最优前馈整定9建立运动参数、动态性能、稳态整定性能、和前馈补偿参数之间的映射关系,实现在指定位移和加速度前提下,前馈补偿自动调整,智能逼近动态跟踪日标和稳态整定目标,满足高精度高加速要求。采用此自动调节算法,进一步对加速度进行优化,获取满足运动系统稳态整定性能要求的最小运动时间,为运动系统的性能优化提供一种新的解决方法。该研究将解决同一运动系统在不同位移和不同加速度要求下的动态性能和整定性能的一致性问题,保证大规模量产时不同装备运动性能的一致性9为我国高端半导体封装装备自主开发与大规模量产奠定理论与技术基础,促进高端半导体封装装备产业发展。
主要荣誉
广东工业大学机电学院百人计划特聘教授; 中山大学MBA、MPM、MAud校外导师; 深圳市“孔雀计划”海外高层次人才
专家认证
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