教授，博士生导师 省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室 广东工业大学 机电工程学院 科研副院长 机械电子工程系第一党支部 书记 主要从事先进电子封装工艺与装备、半导体湿法刻蚀加工技术与器件、激光加工技术与装备等方向研究。主持国家重点研发计划项目1项、国家自然科学基金2项、中央军委装备预研领域基金1项、广东省重点研发计划项目等省部级项目5项，参与973、02专项、国家自然科学基金重点项目等国家及省部级项目10余项。在Advanced materials、Nano Letters等国际...